案例名稱: 某半導(dǎo)體制造企業(yè)超純水制備系統(tǒng)工程
案例背景:
某半導(dǎo)體制造企業(yè)為滿足其生產(chǎn)線對(duì)超純水的高品質(zhì)需求,決定投資建設(shè)一套全新的超純水制備系統(tǒng)。該系統(tǒng)需要滿足嚴(yán)格的水質(zhì)指標(biāo),如電阻率、總有機(jī)碳(TOC)、微粒和細(xì)菌含量等,以確保半導(dǎo)體器件的制造質(zhì)量和可靠性。
系統(tǒng)設(shè)計(jì):
預(yù)處理系統(tǒng):采用多介質(zhì)過(guò)濾器、活性炭過(guò)濾器和超濾器等設(shè)備,去除水中的懸浮物、膠體、有機(jī)物等雜質(zhì),為后續(xù)的深度處理提供良好的進(jìn)水條件。
反滲透系統(tǒng):采用高效的反滲透膜組件,通過(guò)壓力驅(qū)動(dòng)使水分子通過(guò)膜層,截留水中的溶解性離子和有機(jī)物,得到高品質(zhì)的淡水。
EDI系統(tǒng):在反滲透系統(tǒng)之后,設(shè)置EDI(電去離子)系統(tǒng),利用電場(chǎng)和離子交換膜去除水中的剩余離子,進(jìn)一步提高水質(zhì)的純度。
終端處理系統(tǒng):包括紫外線殺菌器、微孔過(guò)濾器等設(shè)備,確保超純水在最終使用前達(dá)到無(wú)菌、無(wú)微粒的狀態(tài)。
控制系統(tǒng):采用PLC(可編程邏輯控制器)和觸摸屏等先進(jìn)控制設(shè)備,實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的自動(dòng)化運(yùn)行和遠(yuǎn)程監(jiān)控,確保水質(zhì)的穩(wěn)定性和可靠性。
實(shí)施過(guò)程:
現(xiàn)場(chǎng)勘查與方案設(shè)計(jì):工程師團(tuán)隊(duì)對(duì)現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行勘查,了解水源水質(zhì)和用戶需求,制定詳細(xì)的設(shè)計(jì)方案。
設(shè)備選型與采購(gòu):根據(jù)設(shè)計(jì)方案,選擇合適的設(shè)備和材料,進(jìn)行采購(gòu)和定制。
系統(tǒng)安裝與調(diào)試:按照設(shè)計(jì)方案進(jìn)行系統(tǒng)的安裝和調(diào)試,確保各設(shè)備之間的連接和配合準(zhǔn)確無(wú)誤。
系統(tǒng)測(cè)試與驗(yàn)收:在系統(tǒng)安裝完成后,進(jìn)行全面的測(cè)試和驗(yàn)收,確保系統(tǒng)能夠穩(wěn)定運(yùn)行并滿足設(shè)計(jì)要求。
操作培訓(xùn)與售后服務(wù):為用戶提供操作培訓(xùn)和售后服務(wù),確保用戶能夠熟練掌握系統(tǒng)的操作和維護(hù)方法。
案例效果:
該超純水制備系統(tǒng)工程投入使用后,成功滿足了半導(dǎo)體制造企業(yè)對(duì)超純水的高品質(zhì)需求。水質(zhì)穩(wěn)定可靠,符合設(shè)計(jì)要求,得到了用戶的高度認(rèn)可和好評(píng)。同時(shí),該工程也為企業(yè)節(jié)省了大量的用水成本和維護(hù)成本,提高了生產(chǎn)效率和經(jīng)濟(jì)效益